晶瑞电材：KrF光刻机成功购入 KrF光刻胶量产指日可待

晶瑞电材（300655）在投资者互动平台表示公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。

对于光刻胶生产企业而言，光刻机除了在研发和产品验证过程中用于自主曝光检测之外，更为关键的是为了保证半导体光刻胶在大规模量产过程中产品质量的稳定，光刻机同样也是必不可少的检验检测设备之一。在研发过程中为了适当降低研发投入，光刻胶生产企业可暂时依靠第三方光刻平台来满足研发过程中曝光测试的需要。而当进行到量产阶段，自有光刻机是保证产品质量安全的关键之一。目前公司的KrF光刻胶业务已经建成了中试生产线，相关产品也正在客户端进行验证。此次KrF光刻机的购入，一方面可以加快公司KrF光刻胶产品的验证调试进程，另一方面也为后续KrF光刻胶大规模量产线的建设奠定必要的设备基础。

ArF光刻机即将投入使用，高端设备配备高端人才推动光刻胶业务发展。公司ArF高端光刻胶研发工作已正式启动，旨在研发满足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻胶，所购置的ASML1900Gi型ArF浸没式光刻机预计将于2021年年底前调试完成。未来，ArF光刻机正式投入使用后将有望加快公司ArF光刻胶的研发进程，推动公司高端光刻胶的业务发展。公司于今年8月邀请原TOK中国区部长陈韦帆加入公司光刻胶事业部，并担任总经理职务。陈韦帆的加入有望为公司带来丰富的行业资源，加快产品研发以及市场推广进度。

根据芯谋研究统计，截至2021年9月，在中国大陆已有、规划、在建和扩产的晶圆代工产线中，已有产能约为112.7万片/月(折合12英寸产能);如在建、规划和扩产产能全部建成满产，中国大陆总体晶圆代工产能将超过300万片/月(折合12英寸产能)。其中大部分晶圆代工产能为28nm及以上的成熟制程产能，与我国半导体光刻胶的研发与量产节奏较为匹配。此外，半导体材料供应链的持续紧缺，也将加快晶圆厂对于国产材料的验证进度，利好国产光刻胶产品放量。

由于KrF光刻胶和ArF光刻胶的验证节奏、产能建设和放量节点存在不确定性，因此我们暂不考虑相应的业绩增量。我们维持公司盈利预测，预计公司2021-2023年的归母净利润分别为2.12/3.19/4.78亿元，我们看好公司在半导体与新能源两大热门赛道中的未来发展，维持“买入”评级。

风险提示：产品价格波动风险，客户验证风险，产能建设风险。